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广州风淋室厂家浅析洁净室静电的危害和预防

1、静电库仑力

吸上粉尘、污物带给无器件,增大泄漏或造成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径>100μm,铝线宽度约100μm,氧化膜厚度在50μm时,最易使产品报废,现在线径更细,氧化膜很薄,很小粒径尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

2、静电放电ESD

①元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间融短。若人体带上10KV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄Sio2膜的Lsi、Vlsi、就是一般IC、MOS都会遭受损坏。

一般说器件绝缘栅Sio2薄膜的耐压场强是E=(5-10)×106V/cm,如果器件Sio2膜厚度取1000,其器件输入脚施加50V-100V以上的静电压就将会被击穿,而人带静电超过50V、100V是极平常的。

②造成噪声、发射电磁波干扰

ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当与电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起设备死机。

ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入,或发生锁存现象。如无尘室中,将晶园片的EMIF箱放在钢的手推车上,晶园片的ESD会通过电感传给手推车,车轮是绝缘的,则EMI的扩散会引起园晶片处理机死机。

③电击人体

人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时 ,人都会有各种伤害感觉,造成工作人员的情绪不安,操作错误。半导体,平面显示器,光电子等洁净室

,尽管做了很多工作,但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量,影响着制造成本和效益,影响产品的质量和可靠性。有报导国外工业专家估计,美国由于静电造成产品的损失平均在8-33%,见表3静电损耗报告。

还有人估计美国每年静电对电子工业毁损价值达100亿美元,日本80年代曾对报废的电子产品进行分析,由ESD引起的损失占1/3。我国半导体,平面液晶显示,光电子等都起步较晚,但静电危害也累有发生,成品率较低。如北京一公司,SMT车间冬季4个月,常因ESD造成上百万元损失。上海一家外资企业办公电脑几千台却因ESD人员叫苦连天,电脑工作不正常。一家研究设计院200m2多的电脑房,ESD严重,无法正常工作。无锡一家外资企业,曾一度由于ESD,产品质量一直不稳定。而银行、证券公司、机要数据库、监控中心,电力调度室等等。如出现ESD就很容易引起干扰,数据遗失,情形就更严重了。